8英寸****晶圆生产线之******、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿台、***湿台 - 国际招标公告
*************受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于****-**-**在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:品目1
设备名称:******
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于*寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺,采用*****、****、**、氨水 和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目2
设备名称:标准清洗湿台
设备数量:2台
设备用途:本设备适用于*寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺,采用*****、****、**、氨水 和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目3
设备名称:硫酸去胶湿台
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于*寸晶圆光刻胶去除清洗工艺,采用*****、****和*****溶液通过化学反 应达到光刻胶去除、清洗的作用。
品目4
设备名称:有机去胶湿台
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于*寸晶圆聚合物去除工艺,采用***溶液和***溶液通过化学反应达到去除 聚合物和光刻胶的目的。
品目5
设备名称:***湿台
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于*寸晶圆*氧化硅腐蚀、氮化硅腐蚀工艺,采用**、****、*****溶液通过 化学反应达到腐蚀*氧化硅和氮化硅的目的。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****-************/**
招标项目名称:8英寸****晶圆生产线之******、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿 台、***湿台
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 |
1 | ****** | 1 | 气压控制:具有氮气、***、排风具备压力监控功能。其他参数详见第*章 |
2 | 标准清洗湿台 | 2 | 水气枪:配有进口**水气枪。其他参数详见第*章 |
3 | 硫酸去胶湿台 | 1 | 测漏感知:设备底部配有防漏盘和漏液传感器检测漏液,防漏盘上的漏液能通过排 |
4 | 有机去胶湿台 | 1 | 移门:有机玻璃移门,配有检测门开传感器,具有联动互锁功能。其他参数详见第*章 |
5 | ***湿台 | 1 | 定位方式:底部附*向转轮与活动式调整脚。其他参数详见第*章 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。
② 投标方可以是设备制造厂商或设备再制造厂商,也可以是设备授权代理商,代理商需具有设备制 造厂商的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的,出具日期在开标前*个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供承诺书,格式自理)。 ⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:****-**-**
招标文件领购结束时间:****-**-**
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:苏美达大厦8楼西侧(南京市长江路***号) 招标文件售价:¥****/$***
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):****-**-** **:**
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
开标地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
6、投标人在投标前应在必联网()或机电产品招标投标电子交易平台()完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公 示。
7、联系方式
招标人:**************
地址:安徽省蚌埠市东海大道***号
联系人:***
联系方式:***********
招标代理机构:*************
地址:南京长江路***号**楼
联系人:***/朱志云/周翠
联系方式:***********、***-********
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
招标人或其招标代理机构主要负责人(项目负责人):_______________(签名)
招标人或其招标代理机构:___________________(盖章)